平面樣板（光學平晶/平面原器）：又稱平晶，是用來檢驗工件表面的平面性。平面原器也分母原器和子原器。母樣板（原器）的直徑有Φ100、Φ150 、Φ200；子樣板（原器）的直徑有Φ40、Φ60、Φ80、Φ100、Φ130、Φ150；檢驗時. 將平面樣板（原器）放在被檢鏡片的表面上.將觀察到等厚干涉條紋.可根據條紋的彎曲和規則程度來確定被檢鏡片表面的面形誤差。